本发明涉及一种臭氧协同微波诱导自由基的VOCs降解方法及系统；所述系统设有微波喷淋反应器，所述来自排放源的含VOCs废气经除尘冷却后，采用臭氧在烟道中预先氧化一部分VOCs为中间体；微波在微波喷淋反应器中活化过硫酸盐产生羟基和硫酸根自由基将余下的VOCs以及预氧化产生的中间体氧化为H2O﹑CO2和固体残渣混合溶液；混合溶液中的H2O和CO2在固体残渣分离塔中经过离心分离后直接排放，而固体残渣进入干燥塔后利用烟气余热利用系统干燥后用于可资源化利用；该系统能够实现VOCs的100%脱除，且脱除过程无二次污染，具有广阔的市场应用前景。

本发明涉及一种臭氧协同微波诱导自由基的VOCs降解方法及系统；所述系统设有微波喷淋反应器，所述来自排放源的含VOCs废气经除尘冷却后，采用臭氧在烟道中预先氧化一部分VOCs为中间体；微波在微波喷淋反应器中活化过硫酸盐产生羟基和硫酸根自由基将余下的VOCs以及预氧化产生的中间体氧化为H2O﹑CO2和固体残渣混合溶液；混合溶液中的H2O和CO2在固体残渣分离塔中经过离心分离后直接排放，而固体残渣进入干燥塔后利用烟气余热利用系统干燥后用于可资源化利用；该系统能够实现VOCs的100%脱除，且脱除过程无二次污染，具有广阔的市场应用前景。