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一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法
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商品编号
FP202011302123779310
商品权属
自有
交易方式
合作开发
商品价格
¥ 300,000
关键词
CMOS工艺 MEMS甲烷传感器 低功耗 加热元件 单晶硅

店铺信息

中国矿业大学
电话 186xxxx0132
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商品评价
一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法,适用于煤矿检测使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料,加热元件同时作为敏感元件,且不需催化剂载体及催化剂材料;加工工艺与CMOS工艺兼容,加热元件的释放采用双向同时刻蚀的湿法硅刻蚀技术。该传感器具有成本低、灵敏度高、功耗低、灵敏度高、测量不受氧气浓度影响、不受积碳、中毒影响的优点。
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