江苏省技术产权交易市场

基于双光路红外反射法的涂层测厚仪
  • G01B11/06
  • 先进制造与自动化
  • 战略性新兴产业
  • 新材料相关服务
  • 智能制造装备产业
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商品编号
202003301553268037
商品权属
代理
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关键词
主检测器 凸透镜 凹面镜 分光棱镜 双光路 平面反射镜 滤光片 第一次检测器 第二次检测器 红外反射法

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南通大学
电话 151xxxx0268
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本发明公开了一种工作效果好的基于双光路红外反射法的涂层测厚仪,所述涂层测厚仪包括暗盒、红外激光光源、凸透镜、2.32μm滤光片、2.23μm滤光片、平面反射镜、第一次检测器、分光棱镜、凹面镜、第二主检测器、第二次检测器、导光管、第一主检测器;测厚时光线经滤光片、分光棱镜传送至次检测器,或经滤光片、分光棱镜、待测图层、凹面镜/凸透镜后传送至主检测器,经主/次检测器数据处理后可求得涂层厚度。使用双光路结构,可实现该系统对涂层厚度的实时测量。本发明可以获取参考物各局部标准厚度,从而能够更加精确地测量涂层厚度。
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