1.核心零部件的高性能高可靠性焊接目前和国际上有明显差距，目前正在研究确认引进设备和辅助材料。
2.配套设备及工具：刻蚀设备需要具备高精度的控制系统，能够精确控制刻蚀深度和形状。刻蚀工具也需要具备高精度和稳定性，以保证加工出来的结构和器件符合设计要求。
3.一些依赖进口的核心零部件，例如精密气体流量计，各种真空泵，高精度步进电机等国产供应商替代比较迫切。